Atmel SAM9XE系列微控制器的一员,基于高性能32位ARM926EJ处理器。它以160MHz的最高速度运行,具有512KB的闪存和16KB的SRAM。外围设备包括两个USB 2.0全速主机端口、以太网MAC 10/100端口、imag esensor接口、四个USART、两个UARsT、两个SPI、SSC、两个TWI(I2C)、两个多媒体卡接口、六个16位定时器、RTT和四个10位ADC。它还具有与Nand闪存、SDRAM和静态存储器接口的外部总线接口。SAM9XE512采用208针PQFP或217球BGA封装。引脚输出和球输出与Atmel SAM9260完全兼容。